空氣過濾器的選用：凈化空調系統根據大氣含塵濃度、大氣中各種污染物濃度和產品生產工藝特點及要求配置各類空氣過濾器——粗效、中效、高中效、亞高效和高效、超高效以及化學過濾器等。
具體凈化空調系統中空氣過濾器的配置和選用應根據潔凈室的空氣潔凈度等級和產品生產工藝的特殊要求（當工藝無特殊要求時，一般都是按空氣潔凈度等級配置）合理配置和選用，對于6級（1 000級）和比6級潔凈度差的潔凈室的凈化空調系統通常采用三級空氣過濾，即粗效、中效和高效過濾器；粗效、中效（或中高效）過濾器，通常設在空氣處理裝置(AHU)內，且將中效或中高效設在正壓段；高效或亞高效過濾器一般設在潔凈室內凈化空調系統的末端，也有將高效過濾器集中設在集中的空氣處理裝置(AHU)內，但此時應對送風管道提出嚴格的清潔要求，以避免凈化后的空氣被污染。
對于5級（100級）和更嚴格的潔凈室的凈化空調系統中空氣過濾器的配置，應根據潔凈室的總體設計方案及采用的凈化空調系統的要求配置各類過濾器，比如有的集成電路生產用4級(O.ltim)和更嚴要求的潔凈室采用新風集中處理，為了嚴格去除大氣中的微粒和各種污染物，通常在新風處理裝置中設置粗效、中效（中高效）、亞高效甚至高效過濾器和化學過濾器或水噴淋裝置等；在潔凈室的循環風系統還設有高效、超高效和化學過濾器等；有的集成電路生產用潔凈室還在生產過程的某些生產區、生產工序或工藝設備設微環境裝置，以確保產品生產所需的空氣潔凈度要求。
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